SEMI S2 – 半導体製造装置のための環境・安全衛生ガイドライン

GS3*の専門家によるSEMI S2評価では、半導体製造装置について適用されるすべての要求事項に対する評価および試験を実施し、包括的な評価レポートを発行します。評価レポートは、エンドユーザーによる装置受け入れの重要な判断材料となります。当社の評価レポートは業界で高い信頼性と受容性を有しており、要求事項への適合確認を迅速に進めることができます。 

*Global Semiconductor Safety Services（GS3）

• ユーザーに提供する文書（第9章）
• 危険警告ラベル（第10章）
• 安全インターロックシステム（第11章）
• 緊急停止機能（第12章）
• 電気設計（第13章）
• 防火対策（第14章）
• プロセス液体加熱システム（第15章）
• 人間工学（エルゴノミクス）およびヒューマンファクター（第16章）
• 危険エネルギーの隔離（第17章）
• 機械設計（第18章）
• 耐震対策（第19章）
• 自動搬送システム（第20章）
• 環境への配慮事項（第21章）
• 排気換気設備（第22章）
• 化学物質（第23章）
• 電離放射線（第24章）
• 非電離放射線および電磁界（第25章）
• レーザー（第26章）
• 音圧レベル（第27章） 

一般的な製品試験レポート（IECEE試験レポートなど）では、「適合（Pass）」「不適合（Fail）」「該当なし（Not Applicable）」の3つの判定が使用されます。一方、SEMI S2レポートでは以下の4つの判定が用いられます。

• 規定された基準に適合している（Conforms to the Stated Criteria）
• 性能目標に適合している（Conforms to the Performance Goal）
• 適合していない（Does Not Conform）
• 該当なし（Not Applicable）

「規定された基準に適合している」と「性能目標に適合している」は、どちらも一般的な試験レポートにおける「Pass（適合）」に相当します。両者の違いは、「性能目標に適合している」の場合、規格本文の具体的な要求事項に完全に一致していなくても、同等以上の安全性能が実証できれば適合と判断される点にあります。これにより、最先端技術についても安全性を確保したうえで柔軟な評価が可能となります。 

SEMI S2レポートは、エンドユーザーが装置を自社施設へ導入する際の評価・承認資料として活用されることを目的としています。

インターテックのGlobal Semiconductor Safety Services（GS3）では、SEMI S2要求事項に基づく半導体製造装置の評価を実施し、包括的なSEMI S2レポートの作成を支援しています。