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1. SEMI規格とは？半導体製造業界の国際標準を策定する組織と活動

半導体製造業界における技術革新の速度は目覚ましく、それに伴い製造装置や材料の標準化の必要性が高まっています。
この課題に対応するために設立されたのが、SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）という
国際的な業界団体です。

1.1. SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）とは

SEMIは、半導体およびフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置・材料業界のグローバルな業界団体として、
1970年に設立されました。現在では世界中から2,000社以上の企業が参加し、100万人以上の業界専門家が活動に参画
する国際組織として発展しています。北米、ヨーロッパ、中国、日本、韓国、東南アジアに拠点を設置し、参加者の多くがボランティアベースで規格策定に貢献しているのが特徴です。
SEMIは単なる標準化団体にとどまらず、業界全体の技術革新促進、人材育成、市場発展のためのプラットフォームとしても機能しています。

1.2. SEMI規格が生まれる背景と目的

SEMI規格の策定には、半導体産業特有の課題と要求が深く関係しています。

1.2.1. 効率化の実現

半導体製造プロセスの標準化により、生産性向上と統一された手順・仕様による効率的な製造を実現します。
また、標準化によるスケールメリットの活用でコスト削減を図り、一貫した基準による製品品質の向上を可能にします。

1.2.2. 互換性の確保

装置と装置、装置と材料間の相互運用性を確保することで、異なるメーカーの装置を組み合わせた最適な生産システムの構築が可能になります。これにより、サプライチェーンの最適化や部品・材料調達の効率化が実現し、共通基盤上での新技術の迅速な展開も促進されます。

1.2.3. 安全性の向上

製造環境における包括的な安全性確保として、人間工学に基づいた安全な作業環境の構築、火災・爆発・化学物質漏洩等のリスク軽減、そして排気・廃棄物管理・エネルギー効率化による環境負荷低減を推進します。

1.2.4. 技術革新への対応

急速に進歩する半導体技術に対応するため、最新技術の業界共通基準を迅速に策定し、グローバルな技術開発の基盤を提供します。さらに、ベストプラクティスの業界全体への普及により、知識共有を推進しています。

1.3. SEMI規格の国際標準としての位置づけ

SEMI規格は、法的拘束力を持つ強制規格ではありませんが、業界関係者の合意に基づいて策定される任意規格として、事実上の国際標準として広く採用されています。主要な半導体メーカーが調達要件として採用することで実質的な必須要件となっており、世界中の半導体製造拠点で共通に採用されています。また、技術進歩に応じた定期的な見直しと改訂により、常に最新の技術動向に対応した内容が維持されています。

2. SEMI規格の主要な分類と具体的な内容

SEMI規格は、半導体製造の様々な側面をカバーする包括的な標準体系として構成されています。現在、400以上の規格が策定されており、その内容は製造装置の安全性から最新のサイバーセキュリティまで多岐にわたります。

2.1. 基本安全規格

【SEMI S2】

半導体製造装置の環境、健康、安全に関する最も包括的なガイドラインです。化学物質の取り扱いから電気的安全、
機械的危険防止、火災・爆発対策、地震対策、品質管理まで、製造装置に関わる幅広い安全側面を統合的にカバーしています。

【SEMI S6】

半導体製造装置の排気換気システムに関するガイドライン 有害ガスや蒸気の適切な排出管理と換気システムの設計・
設置・保守要件を定め、環境負荷軽減と作業者の健康保護を実現します。

【SEMI S8】

半導体製造装置の人間工学（エルゴノミクス）に関するガイドライン 作業者の快適性と安全な操作性を確保するため、人間工学に基づいた装置設計要件と操作インターフェースの最適化指針を提供します。

【SEMI S14】

半導体製造装置の火災リスク軽減に関するガイドライン 火災リスクアセスメントの実施方法と火災防止策・被害軽減措置を定め、緊急時対応システムの構築要件を規定しています。

2.2. サイバーセキュリティ関連規格

【SEMI E169】

装置情報システムセキュリティの標準 製造装置のサイバーセキュリティ基本要件とセキュリティリスクアセスメント
手法を定め、セキュリティ管理体制の構築指針を提供します。

【SEMI E187】

ファブ設備（半導体製造装置）のサイバーセキュリティ標準（データ保護） 機密データの保護と管理手法を規定し、
アクセス制御システムの要件とデータ漏洩防止対策を定めています。

【SEMI E188】

工場システムでのマルウェア感染防止 マルウェア対策システムの導入要件と感染予防・検知システムの構築、および
インシデント対応手順を規定しています。

2.4. 電力品質・信頼性規格

【SEMI F47】

半導体製造装置の瞬時電圧低下（瞬停）耐性に関するガイドラインで、電圧サグに対する装置の耐性要件を定め、電力品質の維持と製造継続性の確保、装置の電力トラブル対応能力の評価手法を規定しています。

SEMI F47とは？半導体製造装置に求められる電圧降下耐性

2.5. 省エネ・環境配慮規格

【SEMI S22】

半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドラインで、電気的安全性確保と省エネルギー設計の両立を図るための包括的な要件を定めています。

【SEMI S23】

半導体製造装置におけるエネルギー、ユーティリティ、材料の保全に関するガイドライン 製造装置の環境負荷軽減と
資源使用量の最適化を目的とした技術指針を提供しています。

2.6. その他の重要規格分野

• ・ウェーハ関連規格：ウェーハの寸法、品質、取り扱いに関する仕様
• ・データ通信規格：SECS/GEM（装置間通信プロトコル）
• ・トレーサビリティ規格：製造履歴の管理と追跡可能性
• ・材料規格：半導体製造用化学薬品、ガス、材料の品質基準

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3. なぜSEMI規格への準拠が重要なのか

現代の半導体製造業界において、SEMI規格への準拠は単なる選択肢ではなく、持続的な事業成長と市場競争力確保の
ための必須要件となっています。

3.1. 製造プロセスの効率化と品質維持

SEMI規格への準拠により、製造現場では以下の具体的な効果が実現されます。

3.1.1. 装置間の相互運用性向上

統一されたインターフェースにより、異なるメーカーの装置を組み合わせた最適な製造ライン構築が可能になります。装置間でのシームレスなデータ交換と統合管理によりデータ互換性が確保され、標準化された部品と手順による効率的なメンテナンスにより保守性も向上します。

3.1.2. 製造ライン全体の安定稼働

規格適合装置による一貫した製造品質により予測可能な性能を実現し、標準化された故障予防と迅速な復旧手順によりダウンタイムを削減します。さらに、最適化されたプロセスフローによる歩留まり向上により、生産性の最大化を図ることができます。

3.2. 安全性の確保とリスク管理

半導体製造環境では、多様な安全リスクが存在するため、SEMI規格による包括的な安全管理が不可欠です。

3.2.1. 作業者の安全確保

有害物質の適切な取り扱いと曝露防止による化学物質の安全管理、作業負荷軽減と作業環境の最適化のための人間工学的配慮、そして事故・災害時の迅速で適切な対応手順としての緊急時対応体制の整備が重要です。

3.2.2. 装置・施設の安全性向上

リスクアセスメントに基づく予防措置による火災・爆発防止、感電・漏電事故の防止と保護システムによる電気的安全の確保、そして排気・廃棄物処理の適切な管理による環境汚染リスクの軽減を実現します。

3.3. サプライチェーン全体の円滑化

グローバルな半導体サプライチェーンにおいて、SEMI規格は以下の価値を提供します。

3.3.1. 国際取引の効率化

世界共通の技術仕様により、明確なコミュニケーションが可能になる共通言語を提供します。一貫した品質基準による信頼性確保により品質保証の標準化が実現し、標準仕様による迅速な製品選定と調達により調達プロセスの効率化が図られます。

3.3.2. パートナーシップの強化

規格準拠による技術的な互換性保証により技術適合性が確保され、信頼できる品質基準による持続的取引関係により
長期的関係構築が可能になります。また、国際標準への適合により新規市場参入の促進も実現できます。

3.4. グローバル市場での競争力と信頼性

SEMI規格への適合は、企業の市場での差別化要素として機能し、国際的な信頼性確保により持続的な競争優位性を構築する重要な手段となります。

3.4.1. 主要顧客からの要求対応

現代の半導体製造では、主要な半導体メーカーがSEMI規格適合を調達要件として設定するケースが増加しています。
規格適合による競合他社との明確な差別化要素として機能し、大型プロジェクトへの参画機会確保のための入札資格となります。さらに、高品質・高信頼性製品としての市場認知によりブランド価値の向上を実現します。

3.4.2. 新興技術への対応力

最新規格への準拠による先端技術への対応により技術革新への適応が可能になり、標準化された基盤上での迅速な技術展開により市場変化への柔軟性を確保します。また、規格準拠による長期的な競争優位性確保により持続的成長基盤を構築できます。

3.5. 法規制との関連性

SEMI規格は直接的な法規制ではありませんが、各国・地域の安全規制の要求水準をクリアする指針としてベストプラクティスを提供し、グローバルな法規制動向との整合性確保により国際整合性を実現します。
また、将来の法規制強化への先行対応として予防的コンプライアンスの役割も果たしています。

4. インターテックジャパンのSEMI規格評価支援サービス

インターテックジャパンは、半導体製造装置業界における豊富な実績と専門知識を活かし、SEMI規格への適合性評価と認証取得支援において業界をリードするサービスを提供しています。

4.1. 米国Intertek GS3との強力なパートナーシップ

インターテックジャパンは、米国のIntertek GS3（Global Semiconductor Safety Services）との緊密な連携により、
世界最高水準のSEMI規格評価サービスを提供しています。

1,000台以上の半導体製造装置評価実績を持ち、SEMIガイドラインに完全準拠した評価プロセスを実施しています。
世界中の主要半導体メーカーで受け入れられる評価レポートを提供し、最新のSEMI規格改訂への迅速な対応により継続的な技術更新を行っています。

4.2. 包括的なSEMI規格対応能力

前工程から後工程まで、半導体製造の全工程における装置評価に対応しています。

安全性評価サービス：

• ・SEMI S2適合評価：包括的装置安全評価と詳細なリスク査定
• ・SEMI S6評価：排気換気システムの評価と最適化提案
• ・SEMI S8適合確認：人間工学エンジニアリング評価とSESC（Supplier Ergonomic Success Criteria）チェックリスト対応
• ・SEMI S14評価：火災リスクアセスメントと軽減策の包括的評価

電力品質・信頼性評価：

• SEMI F47試験：電圧サグ耐性評価のための専用試験器を保有

4.3. 最先端の測定機材と試験設備

SEMI規格評価に必要な以下のような専門機材を完備しています。

• ・サグ試験器（SEMI F47対応）：精密な電圧降下シミュレーション
• ・トレーサーガスモニター（SEMI S6対応）：排気効率の正確な測定
• ・安全性評価設備：包括的な安全性試験のための多様な測定機器

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5. SEMI規格への適合が拓く半導体製造の未来

SEMI規格への適合は、企業の持続的成長と競争力確保のための戦略的投資です。
技術革新が加速する半導体業界において、最新規格への継続的な対応により、先行優位性の確保、技術的差別化、顧客信頼の獲得が可能になります。

また、SEMI規格適合は個社の利益にとどまらず、業界全体の品質標準化、サプライチェーンの効率化、持続可能な産業発展に貢献します。将来の市場変化や規制強化への事前対応として、長期的な企業価値向上とレジリエンス強化を実現する重要な取り組みといえます。

お客様の半導体製造装置事業の成功と持続的成長を、インターテックジャパンが全力でサポートいたします。

SEMI規格適合性評価、認証取得支援、最新規格動向に関するご相談は、以下よりお気軽にお問い合わせください。

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